Пелликл ASM14P-122-1017HFLC (147*126*7.75)мм (MLI) Micro Lithography Inc.
Пелликл — представляет собой прозрачную для излучения мембрану, располагающуюся на расстоянии нескольких миллиметров над рабочей поверхностью, служащий для защиты поверхности маски от попадания загрязнений.
