Антиотражающее покрытие AZ® AQUATAR-VIII-A45
по запросу
AZ® Aquatar-VIII-A 45 — это антибликовое покрытие верхнего слоя для использования с линиями g и i.
Производитель: Merck Performance Materials
AZ® Aquatar -VIII-A45 — это антибликовое покрытие верхнего слоя для использования с g- и i-линиями. AZ® Aquatar -VIII A45 действует как оптическое покрытие на границе фоторезиста/воздуха и улучшает контрастность изображения. Многократные отражения внутри фоторезиста также подавляются, результатом обычно является уменьшение амплитуды кривой качания до 1/3. Нанесение очень простое: оно просто наносится поверх фоторезиста, дополнительный цикл запекания не требуется, а стандартный цикл проявления удаляет его. Этот простой процесс значительно снижает изменение ширины линии по топографии, однако не подавляет отражательные надрезы.