ВК 100-1 — подложки алюмооксидные Al2O3 99,7% (корундовые)
по запросу
Подложки изготовленные из корундового материала ВК 100-1 (Al2O3 — 99,7%), предназначенные для тонкоплночных интегральных схем.
В зависимости от обработки поверхности подложки делятся на виды:
— подложки с односторонней полировкой — ПК1;
— подложки с двухсторонней полировкой — ПК2.
Условное обозначение изделия при заказе и в конструкторской документации должно состоять из наименования изделия, вида обработки поверхности подложки, чертежа и технических условий:
Подложка ПК1 Ще7.817.000-25 по ТУ 6366-000-07593894-2013.
Примечание: Технические условия 6366-000-07593894-2013 введены 01.04.2014 г. взамен Ще0.781.000 ТУ.
Наименование характеристик |
ВК 100-1 |
Содержание Al2O3 | 99,7 |
Водопоглощение, % не более | 0,02 |
Кажущаяся плотность, кг/м3 | 3960±20 |
Предел прочности на изгиб, кгс/см2 (МПа) | 3200 (313,8) |
Температурный коэффициент линейного расширения в интервале температур 20..900°С, К-1 | (8±0,5)*10-6 |
Диэлектрическая проницаемость в диапазоне частот 8-10 ГГц и при температуре 20±5°С | 9,7±0,25 |
Тангенс угла диэлектрических потерь, 10 ГГц 20°С | 1*10-4 |
Удельное объёмное электрическое сопротивление при 150±5°С, Ом*см | 2*1014 |
Теплопроводность λ, Вт/(м*К) | 30 |
Шероховатость полированной поверхности, Rz, мкм | 0,100 |
Шероховатость второй полированной поверхности, Rа, мкм | 0,040 |
Шероховатость рабочей шлифованной поверхности, Rz, мкм | - |
Шероховатость нерабочей шлифованной поверхности, Rz, мкм | 1,6 |