Вследствие неблагоприятного соотношения вероятностей радиационного распада рабочих уровней молекулы азота инверсию, т.е. генерацию на рассматриваемых проходах можно получить только в нестационарном (импульсном) режиме на фронте импульса возбуждения. Таким образом, азотные лазеры, является лазером на самоограниченных переходах.
Азотный лазер ЛГИ-511 превосходно зарекомендовал себя в установках микроэлектроники. Короткая длина волны позволяет сфокусировать излучение в пятно малых размеров и обрабатывать элементы на уровне долей микрометров, к тому же максимум чувствительности многих типов фоторезиста, применяемых в микроэлектронике, лежит в этой области.
Параметры | ЛГИ-505 | ЛГИ-511 |
Длина волны излучения, мкм | 0.337 | 0.337 |
Энергия импульса излучения, мкДж | 120 | 240 |
Средняя мощность излучения, мВт | 120 | 240 |
Размер пучка излучения на уровне 0.1, мм (не более) | 1.5 | 5 |
Спектральный состав излучения | TEMmn | TEMmn |
Частота повторения импульсов, Гц | 5-1000 | 1 — 1000 |
Длительность импульса на уровне 0.5, не | — | 6-8 |
Габариты, мм, не более | 1140x525x345 | 1140x525x345 |
Масса, кг, не более | 105 | 105 |
Питание, В | 220 | 220 |
Потребляемая мощность, Вт, не более | — | 1500 |
Охлаждение | водяное, расход воды 1.5 — 2 л/мин | водяное, расход воды 1.5 — 2 л/мин |
Температура эксплуатации, °С | 0…+40 | 0…+40 |
Гарантийная наработка, ч | 500 | 500 |