Материал подложки | Щелочное стекло | Кварц |
Размеры, мм | 102 х 102 127 х 127 152 х 152 | |
Толщина, мм | 2,2 ÷ 2,6 3,0 ÷ 0,5 3,0 ÷ 0,5 | 2,2 ÷ 2,4 2,95 ÷ 3,15 6,25 ÷ 6,45 |
Отклонение от плоскостности, мкм | 2, 5, 10 | |
ТКЛР, град-1 | 80 • 10-7 | 7,5 • 10-7 |
Маскирующий слой | хром, окись хрома | |
Оптическая плотность, отн.ед., λ - 450 нм | 3,2 ± 0,2 | |
Коэффициент отражения, % λ - 436 нм | > 40 25 ÷ 40 10 ÷ 25 | |
Толщина маскирующего слоя, Å | хром 500 ÷ 700 хром, окись хрома 1000 ÷1200 | |
Проколы в маскирующем слое, см | 0,1; 0,05; 0,02 | 0,05; 0,02 |
* Тип резиста | Электронорезист (ЭРП - 40 и др.) | |
* Толщина пленки резиста, мкм | 0,3 ÷ 1,0 |