Область применения: Толстослойный фоторезист ФП-25 ЭКО предназначен для реализации фотолитографических процессов в производстве полупроводниковых интегральных приборов и микросхем с глубинным травлением германия и кремния, а также для гальванического осаждения металлов.
Фоторезист ФП-25 эко (ТУ 2378-004-29135749-2007)
Фоторезист относится к классу экологически безопасных для персонала и окружающей среды. Изготовлен на основе экологически безопасного растворителя 1-метокси-2-пропилацетата. Гарантийный срок хранения увеличен в 2 раза и составляет 12 месяцев.No | Характеристики ФП-25 эко | Норма |
1 | Внешний вид фоторезиста | Жидкость красно-коричневого цвета |
2 | Внешний вид пленки фоторезиста | Гладкая, блестящая без разрывов |
3 | Разрешающая способность, мкм, не более | 15,0 |
4 | Уровень фильрации, мкм | 0,5 |
5 | Толщина пленки фоторезиста, мкм | 6÷8 |
6 | Кинематическая вязкость при (20±2)0С, сСт | 195÷265 |
7 | Устойчивость пленки фоторезиста в проявителе, не менее, мин | 20,0 |
8 | Рекомендуемый проявитель | УПФ-1Б (1:5) |
9 | Рекомендуемый сниматель | СПР-01Ф |
10 | Гарантийный срок хранения, мес | 12 |