Фоторезист AZ 4533 — 3.785 л
по запросу
AZ® 4533 — позитивный резист с оптимизированной адгезией для влажного травления.
Производитель: Merck Performance Materials
Серия AZ® 4500 (AZ® 4533 и AZ® 4562) — это позитивные толстые резисты с оптимизированной адгезией для обычных процессов влажного травления и гальванизации. Серия AZ® 4500 следует за серией AZ® 1500 по достижимому и обрабатываемому диапазону толщины резистивной пленки. AZ® 4533 (толщина резистивной пленки 3,3 мкм при 4000 об/мин) и AZ® 4562 (6,2 мкм) имеют более низкую концентрацию фотоинициатора по сравнению с тонкими резистами. Это позволяет обрабатывать толстые резистивные пленки более 10 мкм без образования пузырьков N2, но за счет значительно более низкой скорости проявления.